Oberflächenanalytik mittels Lichtmikroskopie
Ausgangspunkt bei der Oberflächenanalyse ist meist die Lichtmikroskopie. Mittels Stereomikroskop sowie verschiedener leistungsfähiger digitaler Lichtmikroskope können wir uns schnell eine Übersicht über die Probe verschaffen, Details dokumentieren und zu untersuchende Bereiche für weitere Methoden wie REM-EDX, XPS / ESCA oder FTIR auswählen.
Dimensionen können dank Softwareunterstützung mit einer Auflösung bis zu 0,5 µm schnell und zuverlässig gemessen werden. Durch Motorisierung der Z-Achse ist auch eine dreidimensionale Vermessung der Proben möglich. Darüber hinaus können Partikelfilter zur Prüfung der technischen Sauberkeit (TecSa) automatisch ausgewertet werden.
Elementanalysen an bestimmten Positionen können direkt während der Mikroskopie mittels Laser-induzierter Plasmaspektroskopie (LIPS oder LIBS - Laser Induced Breakdown Spectroscopy) durchgeführt werden. Bei mehrschichtigen Systemen können durch wiederholtes Aufsetzen auf einen Messpunkt Tiefenprofile durch mehrere Schichten erstellt werden.