Wareneingangsprüfung
Ultraspurenanalyse nach ULSI-, SLSI-, IPC-, MIL- und IBM Spezifikationen.
Basen: | Kalilauge, Natronlauge, Ammoniak, Ammoniumfluorid, Triethanolamin (TEA), Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH). |
Säuren: | Flusssäure (2,5-50%), Phosphorsäure, Schwefelsäure, Salpetersäure, Salzsäure, Essigsäure, Chromphosphorsäure, gepufferte Flusssäure. |
Salze/Netzmittel: | Ammoniumfluorid, Natriumhydrogencarbonat, Eisennitrat, Natriummetasilikat, Netzmittel FC98/FC95, Triton Netzmittel. |