ATU - Analytik für Technik und Umwelt

Wareneingangsprüfung

Ultraspurenanalyse nach ULSI-, SLSI-, IPC-, MIL- und IBM Spezifikationen.

 

Wareneingangsprüfung

Basen: Kalilauge, Natronlauge, Ammoniak, Ammoniumfluorid, Triethanolamin (TEA), Tetramethylammoniumhydroxid (TMAH).
Säuren: Flusssäure (2,5-50%), Phosphorsäure, Schwefelsäure, Salpetersäure, Salzsäure, Essigsäure, Chromphosphorsäure, gepufferte Flusssäure.
Salze/Netzmittel: Ammoniumfluorid, Natriumhydrogencarbonat, Eisennitrat, Natriummetasilikat, Netzmittel FC98/FC95, Triton Netzmittel.